Imec、RENA和SoLayTec三家公司日前發布了使用原子層沉積(ALD)鈍化技術的156mm x156mm i-PERC型晶硅太陽能電池，該電池采用imec的太陽能電池中試線生產，據稱在未使用選擇性發射極結構的前提下轉換效率達19.6%。

Imec光伏部門負責氧化鋁鈍化開發的資深科學家奧德·羅斯柴爾德(Aude Rothschild)博士指出：“這些結果表明采用ALD技術生長的氧化鋁薄層有著卓越的鈍化性能，而且避免的傳統工藝的一些問題。ALD氧化鋁的鈍化能力可以提高電池效率，預計在不遠的將來太陽能電池性能會得到進一步的改善。我們的目標是在未來幾個月將電池轉換效率提高到20%。”

RENA太陽能生產部經理Franck Delahaye補充道：“這個優秀結果顯示RENA的InPolish背面拋光和InOxSide隔離技術的成熟，并可用于下一代i-PERC電池的生產。”

SoLayTec聯合創始人兼市場營銷經理Roger Görtzen表示：“卓越的背面鈍化結果顯示SoLayTec的ALD氧化鋁工藝的性能。實驗室工藝可以放大并適用于批量生產，再加上三甲基鋁(TMAI，ALD工藝中的鋁源)消耗量少，將使成本達到最低。ALD氧化鋁是高效p型PERC硅太陽能電池的首選鈍化技術。

以上結果是在imec硅太陽能電池產業協作計劃(IIAP)中所取得的，小批量電池平均轉換效率達19.4%。