單晶爐開(kāi)機(jī)準(zhǔn)備標(biāo)準(zhǔn) 一、 開(kāi)爐前檢查內(nèi)容 1、下?tīng)t室4次清掃一次 2、過(guò)濾器1爐清掃一次 3、上副室、小副室每爐都要清掃 4、過(guò)濾器打開(kāi)之前內(nèi)部為一個(gè)大氣壓 5、泵油按期更換：4爐更換一次 二、 裝爐要求（ 1、 檢查觀察窗玻璃能否看清前視窗口鍍金層無(wú)明顯嚴(yán)重脫落，溫控窗無(wú)明顯濺硅及損壞現(xiàn)象； 2、 電極和電極隔熱壞無(wú)損壞； 3、 爐底石墨盤(pán)無(wú)損壞（下軸石墨護(hù)套要放正防止碰到石墨下軸）； 4、 單晶爐已清潔。 5、 確認(rèn)控制柜規(guī)格是否與上一爐相同 6、 檢查確認(rèn)籽晶是否需要更換 7、 檢查確認(rèn)石墨托桿與石墨托盤(pán)是否有揮發(fā)物以及破損 8、 檢查石墨下軸螺絲是否上緊 9、 檢查加熱器電極石墨螺絲是否上緊 10、 檢查確認(rèn)加熱器是否絕緣 11、 檢查取溫孔是否對(duì)中 12、 檢查石墨坩堝是否對(duì)中、有無(wú)擺動(dòng)現(xiàn)象、停滯現(xiàn)象 13、 確認(rèn)籽晶、籽晶夾頭是否安裝到位 14、 檢查確認(rèn)石英坩堝有無(wú)氣泡、裂紋等異常情況 15、 檢查確認(rèn)多晶是否與隨工單相符 16、 檢查確認(rèn)sop與當(dāng)前隨工單相符 17、 裝料后環(huán)境衛(wèi)生打掃 18、 裝料后檢查并校準(zhǔn)坩堝零位 三、 抽空、檢漏 1、 真空泵已開(kāi)、泵冷卻水已開(kāi)通 2、 隔離閥已打開(kāi) 3、 漏氣率符合工藝要求 四、 化料、穩(wěn)定 1、 氬氣已開(kāi)、泵已開(kāi)、氬氣流量符合sop要求 2、 有無(wú)打火現(xiàn)象 3、 有無(wú)溶硅沸騰想象 4、 爐內(nèi)壓力符合sop要求 五、 引晶 1、 氬氣流量符合sop要求，拉速符合要求 2、 放肩：放肩拉速符合sop要求 3、 轉(zhuǎn)肩：轉(zhuǎn)肩速度符合sop要求，堝隨比準(zhǔn)確，已投自動(dòng)，生長(zhǎng)控制sop已投上，并調(diào)好 4、 等徑：晶轉(zhuǎn)、堝轉(zhuǎn)已調(diào)好，直徑已測(cè)量準(zhǔn)確 5、 收尾：是否有棒擺，液面震動(dòng)，堝擺。拉速是否有大的波動(dòng)，以及堝邊結(jié)晶現(xiàn)象 六、 停爐 晶棒是否按工藝要求提升，坩堝是否按工藝要求下降，功率是否按停爐工藝操作。 補(bǔ)充：氬氣壓力（大罐壓力）是否符合開(kāi)爐工藝要求。 水溫水壓，是否符合工藝要求， 正常狀態(tài)：水溫 22℃±5；水壓 0.15-0.2 爐子各種密封圈是否安裝好。